短路關(guān)鍵面積提取與縮小方法研究.pdf_第1頁(yè)
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1、本文主要研究隨機(jī)缺陷導(dǎo)致版圖出現(xiàn)短路故障的情況。首先分析了在工藝制造過(guò)程中出現(xiàn)隨機(jī)缺陷的類型及其引起版圖出現(xiàn)故障的機(jī)理,介紹了短路關(guān)鍵面積的含義及模型,分析研究了短路關(guān)鍵面積的提取方法及已有的鄰接矩陣存儲(chǔ)結(jié)構(gòu)。由于短路關(guān)鍵面積的特性,采用已有的儲(chǔ)存結(jié)構(gòu)會(huì)導(dǎo)致空間的浪費(fèi),故本文給出了一種新的短路關(guān)鍵面積的存儲(chǔ)結(jié)構(gòu),這種存儲(chǔ)結(jié)構(gòu)在空間上取得很大的改進(jìn)。
  此外,本文進(jìn)一步研究了短路關(guān)鍵面積的縮小。通過(guò)把版圖轉(zhuǎn)化為圖像,從圖像角度出發(fā)

2、,結(jié)合數(shù)學(xué)形態(tài)學(xué)膨脹算法原理,提出了一種新的短路關(guān)鍵面積縮小算法。文中還給出了兩種實(shí)現(xiàn)該縮小算法的方法:可移動(dòng)空間試探法和可移動(dòng)距離中值法,并對(duì)這兩種實(shí)現(xiàn)方式進(jìn)行了簡(jiǎn)單的分析。本文提出的這種縮小算法不但考慮了缺陷的真實(shí)輪廓特征和粒徑分布特征,而且不受版圖線網(wǎng)的形狀的制約,為版圖優(yōu)化提供了更準(zhǔn)確的依據(jù)。
  在此基礎(chǔ)上,本文基于鄰接表實(shí)現(xiàn)了COE(Critical Area On Edge Network)網(wǎng)的構(gòu)造及關(guān)鍵路徑的提取,

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