1、激光直寫是衍射光學元件的一種先進制作技術,激光直寫設備是采用激光直寫技術制作衍射光學元件并開展其研究的物質基礎.本文基于中科院長春光機所研制的四軸激光直寫設備開展了對其Y軸傳動系統(tǒng)的分析研究,可以為相關高精度傳動系統(tǒng)的設計和檢測提供重要的依據(jù).本文以二元光學激光直寫設備Y軸功能要求和設計指標為基礎,提出了該傳動系統(tǒng)的總體結構設計方案,并與其它高精度傳動方案進行了比較.該傳動系統(tǒng)設計方案可以滿足長行程、定位精度為亞微米級精度的傳動指標要求

2、.同時,對傳動系統(tǒng)各個傳動環(huán)節(jié)也提出了具體的結構設計方案,解釋了滾珠絲杠副、空氣靜壓導軌、絲杠導軌連接等多個傳動環(huán)節(jié)結構設計的具體思路.對于開展類似結構設計工作,有實際借鑒意義.對于所提出的傳動系統(tǒng)的具體結構,本文也簡單地進行了結構性能指標分析.對于該傳動系統(tǒng)的最小位移靈敏度、定位精度的影響因素、系統(tǒng)剛度及固有頻率都進行了細致的計算,肯定了所提出的結構設計方案.精度檢測環(huán)節(jié)對于評價設計的優(yōu)劣是至關重要的,本文也對該傳動系統(tǒng)的精度檢測過程