1、隨著磷化銦材料外延技術(shù)的進(jìn)步，高可靠性的半導(dǎo)體有源器件已走向成熟，被廣泛應(yīng)用于各個(gè)領(lǐng)域。而信息網(wǎng)絡(luò)的高速發(fā)展，對(duì)光通信器件提出越來越多的要求。基于磷化銦的可集成的波長(zhǎng)可調(diào)諧激光器的正是滿足這一需求的關(guān)鍵器件，值得深入研究。
　　 本課題的研究目的就是提供制作更簡(jiǎn)單、自由光譜范圍更大、性能更穩(wěn)定的波長(zhǎng)可調(diào)諧激光器。
　　 本文提出了空氣槽分束激光器結(jié)構(gòu)。通過附加兩根波導(dǎo)構(gòu)成FP振腔進(jìn)行選模濾波，取代了環(huán)型諧振腔，從而省略深

2、刻蝕槽結(jié)構(gòu)，提高激光器的注入效率。利用空氣槽對(duì)光的反射和透射作用，取代了3dB多模干涉耦合器，減小器件的尺寸。
　　 本文的另一個(gè)研究重點(diǎn)是解理面V型腔激光器。利用解理面作為反射面，相較深刻蝕槽作為反射面，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單且制造方便，但增加了彎曲波導(dǎo)的約束條件。為滿足兩個(gè)諧振腔末端對(duì)齊，利用多項(xiàng)式波導(dǎo)的高階項(xiàng)進(jìn)行匹配，得到彎曲損耗最小的波導(dǎo)形狀。然后分析半波耦合器的特性，給出新型耦合器的設(shè)計(jì)，從而減弱解理面位置偏移設(shè)計(jì)值對(duì)耦合系數(shù)的影響