二極管激光吸收光譜法對(duì)雙頻容性耦合等離子體中氬亞穩(wěn)態(tài)的診斷.pdf_第1頁
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1、采用可調(diào)二極管激光器對(duì)雙頻容性耦合等離子體中Ar原子亞穩(wěn)態(tài)的溫度和亞穩(wěn)態(tài)1S5和1S3數(shù)密度進(jìn)行診斷?？疾炝朔烹姽β?，氣壓，電負(fù)性氣體O2和電源頻率對(duì)Ar亞穩(wěn)態(tài)溫度和數(shù)密度的影響。發(fā)現(xiàn)在功率小于70W，氣壓小于5 Pa時(shí)，Ar亞穩(wěn)態(tài)數(shù)的溫度和密度隨功率升高而快速升高，功率大于70 W后Ar亞穩(wěn)態(tài)數(shù)密度隨功率升高緩慢升高。隨氣壓升高，Ar亞穩(wěn)態(tài)溫度和數(shù)密度降低。同時(shí)，沒有明顯的隨功率升高而出現(xiàn)的快速和慢速上升的階段。電負(fù)性氣體氧氣的加入對(duì)

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