1、利用高溫超導薄膜制作的微波無源器件已經越來越廣泛的應用于民用和軍用通信設備以及雷達偵查設備前端。隨著高溫超導產業(yè)化進程的深入，優(yōu)質超導薄膜的需求量越來越大。超導薄膜微波表面電阻(RS)的測試在薄膜的制作過程中，可對薄膜好壞進行檢測，有利于制作工藝的調整；在設計微波無源器件時，可準確提取薄膜的微波電阻值，保證高性能超導微波器件的設計效率。因此超導薄膜RS的測試在超導產業(yè)化過程中是不可缺少的一個重要環(huán)節(jié)。在超導機理的理論研究過程中，超導材料

2、微波電阻隨頻率、溫度等物理量的變化關系一直是研究者關心的內容，而理論研究的正確與否通常需要靠實驗方法驗證，因此在理論研究過程中超導薄膜微波表面電阻的測試同樣不可或缺。作為高溫超導薄膜微波表面電阻測試方法之一的鏡像介質諧振器法，具有單片、無損、快速、準確等優(yōu)點，并被采用作為國家標準的補充。本論文對超導薄膜微波表面電阻鏡像介質諧振器法作以下研究：
　　 對鏡像介質諧振器法校準步驟進行深入分析，提出了“篩選法”和“淘汰法”，對安裝在測

3、試探頭和校準探頭中的蘭寶石組合進行配對選擇，確保測試探頭和校準探頭的接觸面為零電阻面，從而提高A值的準確度；使用鍍金銅板作為已知微波表面電阻值待測樣品，利用金的穩(wěn)定性，確保B值不受金屬氧化導致RS變化產生的不良影響，并利用工作在TE013模式的諧振空腔測得鍍金銅板在12GHz，77.3K時的微波表面電阻為66.74mΩ；提出了終端采用50Ω負載和損耗介質材料兩種方法對校準探頭的結構進行改進，從而實現了測試探頭和校準探頭結構的對稱性。使用

4、改進后的鏡像法測試裝置與國家標準中的雙介質諧振器法測試裝置進行對比測試，比對結果的標準偏差為0.038mΩ，相對標準偏差為5.2％，小于超導薄膜微波表面電阻測試國家標準中提出的20％測試相對標準偏差，證明了論文中所提出的一系列改進方法的有效性；提出了鏡像介質諧振器一腔多模測試方法，設計制作了工作在TE011、TE012、TE021、和TE013四個TE諧振模式的測試裝置，利用該裝置對高溫超導薄膜在11.03GHz、17.38GHz、19