STM金屬表面高分辨電化學(xué)刻蝕的研究.pdf_第1頁(yè)
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1、利用掃描隧道顯微技術(shù)對(duì)金屬表面進(jìn)行顯微電化學(xué)刻蝕的方法,其構(gòu)思與方法新穎,具有極高分辨率的空間選擇性和加工對(duì)象的普適性,顯示了STM在微/納加工領(lǐng)域的潛能.該文提出了STM高分辨率電化學(xué)刻蝕的二次高度定位方法,討論了電化學(xué)刻蝕的基本原理和實(shí)驗(yàn)特點(diǎn).自行設(shè)計(jì)了STM電化學(xué)刻蝕加工裝置,并在不銹鋼表面刻蝕出了特征結(jié)構(gòu),根據(jù)刻蝕圖案分析了影響刻蝕分辨率的因素.根據(jù)STM鏡體與樣品臺(tái)的特點(diǎn),設(shè)計(jì)了STM的電化學(xué)刻蝕電解池.自行設(shè)計(jì)、組裝、調(diào)試了

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