1、諧振器是一種產生諧振頻率的電子元件，應用于所有涉及頻率發(fā)射和接收的電子產品之中?；诩{機電系統(tǒng)技術（NEMS）的NEMS諧振器具有尺寸小、頻率高、高 Q值、低功耗、可集成等諸多優(yōu)點，有望成為現有石英晶體諧振器替代品，具有非常光明的應用前景。本論文對以新型納米材料碳納米管作為諧振梁的可調諧NEMS諧振器進行研究，主要工作內容如下：
　　(1)對靜電力驅動下的碳納米管諧振器力學特性進行理論研究。探討了兩種典型結構——懸臂梁與兩端固支梁

2、結構碳納米管諧振器的理論模型，對重要參數失效電壓（或吸合電壓Pull-in Voltage）進行理論研究，提出了碳納米管諧振器的振動控制方程，最后對靜電力驅動下的碳納米管諧振器檢測電路原理進行研究。
　　(2)建立基于有限元方法的ANSYS耦合場模型，對于碳納米管諧振器的失效電壓進行研究。采用了三種方法對其進行數值模擬分析。將求解結果與理論解對比分析，在綜合考慮計算效率和計算精度的情況下選擇適當的方法進行求解分析。
　　(3

3、)對懸臂碳納米管梁和兩端固支碳納米管梁進行了模態(tài)分析，研究碳納米管各個尺寸參數對其自然頻率的影響，用于進行碳納米管諧振器結構優(yōu)化設計和工作頻率范圍的預測。對可調諧碳納米管諧振器進行諧響應分析，得到直流偏置電壓與碳納米管諧振器工作頻率的變化關系。
　　(4)對NEMS制造技術進行研究，提出兩種碳納米管諧振器的實現方法：局部選擇性生長CNT的NEMS集成加工技術方法和采用CNT裝配的NEMS集成加工技術方法，并設計出工藝流程圖。