1、隨著材料科學(xué)、微電子技術(shù)等各領(lǐng)域高科技的迅速發(fā)展，機(jī)械制造技術(shù)已從精密加工發(fā)展到超精密加工，切削厚度已達(dá)到納米量級(jí)。納米加工在加工方式和機(jī)理方面所出現(xiàn)的重大變革，將引起材料加工表面的機(jī)械、冶金、物理、化學(xué)或其他方面的性能發(fā)生變化；盡管這些變化只發(fā)生在表面或表層，但可能對(duì)工件的使用性能有致命的影響。其中，微納米表面殘余應(yīng)力對(duì)零件的疲勞強(qiáng)度、抗應(yīng)力腐蝕能力、尺寸穩(wěn)定性等有著十分重要的影響。因此，零件中殘余應(yīng)力的測(cè)量研究對(duì)生產(chǎn)和科學(xué)實(shí)驗(yàn)有重要

2、的現(xiàn)實(shí)意義。
　　隨著表面工程技術(shù)和微電子機(jī)械系統(tǒng)的發(fā)展，傳統(tǒng)的機(jī)械釋放測(cè)量法和無(wú)損測(cè)量法幾乎不能滿足在微納米尺度下的檢測(cè)需要。因此，本文在微納米級(jí)壓痕實(shí)驗(yàn)的基礎(chǔ)上，結(jié)合分子動(dòng)力學(xué)仿真來(lái)分析和測(cè)量材料表面的殘余應(yīng)力。通過(guò)文獻(xiàn)調(diào)研、理論建模仿真、試驗(yàn)和比較分析等研究，主要完成了以下工作：
　　首先，運(yùn)用力學(xué)理論，建立微納米尺度下殘余應(yīng)力檢測(cè)的理論公式，研究納米壓痕法檢測(cè)微納米尺度下殘余應(yīng)力的理論依據(jù)；
　　其次，建立納米