1、作為一種用于信號功率放大的微波真空電子器件，行波管具有高頻率、寬頻帶、大功率等優(yōu)點(diǎn)，被廣泛用作雷達(dá)、微波通信和電子對抗等的大功率發(fā)射源。相比于美俄等發(fā)達(dá)國家，國產(chǎn)行波管的差距主要體現(xiàn)在質(zhì)量和可靠性方面。目前，針對行波管性能的研究通常偏重于理論和設(shè)計(jì)等方面進(jìn)行，而在行波管的研制中，行波管的質(zhì)量和可靠性很大程度上由材料的微觀結(jié)構(gòu)所決定。本論文采用以掃描電子顯微鏡和能譜儀為主的微觀分析手段，結(jié)合行波管及材料的實(shí)際研制工藝過程和使用情況，開展了

2、行波管氣密材料的漏氣分析研究、原材料的組成和結(jié)構(gòu)的對比分析、微觀分析評價和失效原因分析等工作。主要工作內(nèi)容和成果概述如下。
　　（1）導(dǎo)電性對能譜分析結(jié)果影響的研究。選取了導(dǎo)電性良好的黃銅和導(dǎo)電性差的氧化鋁陶瓷作為代表，進(jìn)行了能譜分析。重點(diǎn)對導(dǎo)電性差的氧化鋁陶瓷分析結(jié)果不準(zhǔn)確的現(xiàn)象，進(jìn)行了機(jī)理討論，并提出了對導(dǎo)電性差的樣品進(jìn)行能譜分析時，采取噴碳或金膜、降低電壓、快速和低倍數(shù)下分析來減小誤差的方法。
　?。?）行波管氣密材料

3、漏氣分析研究。針對采用新批次極靴焊接漏氣問題，對正常和漏氣極靴進(jìn)行了微觀對比分析，找出失效原因?yàn)闃O靴基材較深的車削痕跡和鍍層表面雜質(zhì)的存在，影響了后續(xù)的焊接氣密性。對氣密材料鎳銅合金的微漏問題進(jìn)行了研究，結(jié)果顯示，鎳銅合金中雜質(zhì)錳含量偏高，燒氫工過程中發(fā)生了錳向合金表面的遷移和氧化，同時由于氧化錳在晶界的析出，弱化了晶界內(nèi)聚力，致使晶界發(fā)生斷裂，使得鎳銅合金的氣密性變差。對一次金屬化后的陶瓷—金屬封接瓷件表面的不同微區(qū)進(jìn)行了對比分析，確

4、定了影響封接質(zhì)量和氣密性的原因?yàn)橥扛噙^程中的不規(guī)范操作致使金屬化后的瓷件表面被污染。
　?。?）行波管用陰極及材料的顯微分析。針對原材料鎢粉選擇的需求，對四個批次的鎢粉進(jìn)行了分析和篩選，最終篩選掉粒徑較小和粒度分布范圍較寬兩個批次的鎢粉并選擇到了合適批次的鎢粉進(jìn)行陰極的生產(chǎn)；對發(fā)射性能合格的陰極進(jìn)行了微觀結(jié)構(gòu)特征分析，結(jié)果顯示浸漬鹽類前鎢海綿體孔隙分布均勻，浸漬后鎢坯內(nèi)部的孔隙被發(fā)射物質(zhì)充分浸漬，獲得了合格陰極的微觀結(jié)構(gòu)判別依據(jù)；

5、對正常和的中毒陰極進(jìn)行了微觀對比分析，結(jié)合工藝過程得出陰極失效原因是行波管漏氣致使潮濕空氣進(jìn)入管內(nèi)，最終影響了陰極的微觀結(jié)構(gòu)和發(fā)射性能。
　　（4）針對一批氧化鈹陶瓷桿在裝管中容易脆斷的現(xiàn)象，采用微觀分析手段對正常和易脆斷的陶瓷桿進(jìn)行了分析，結(jié)果顯示相對于正常樣品，有質(zhì)量缺陷的樣品表面有異常晶粒的長大，有較大的孔隙出現(xiàn)，晶界間存在主要含有氧化鋯成分的白色析出物，這些最終影響了氧化鈹陶瓷的力學(xué)性能。
　?。?）利用微觀分析手段