1、鐵鈷基納米晶軟磁合金薄膜具有優(yōu)異的磁學性能，因此在記錄磁頭、記錄磁盤襯底層、微電感、薄膜變壓器等高頻電子器件方面得到廣泛的應用。磁性元器件的微型化和高頻化對具有優(yōu)良高頻特性的納米晶軟磁合金薄膜有著迫切的需求，因而開發(fā)一些優(yōu)良高頻特性的納米晶軟磁合金薄膜是十分必要的。本論文基于磁控濺射方法，對Fe-Co-O、Fe-Co-Cr-N以及Fe-Co-Ti-N三個納米晶軟磁合金薄膜系統(tǒng)進行了樣品制備、結構表征、電學特性以及磁學特性的研究。

2、 本研究的主要工作如下： (1)采用磁控濺射方法，通過調控工藝參數(工作氣壓、Cr或Ti靶濺射功率、N2或O2流量比、濺射時間)制備出Fe-Co-O、Fe-Co-Cr-N和Fe-Co-Ti-N納米晶軟磁合金薄膜系列樣品。 (2)通過膜厚儀厚度測試、XRD物相結構分析、SEM微觀形貌觀察、EDX成分分析、四探針電阻測試、VSM磁特性分析以及磁導率測量儀的高頻特性分析，研究了工藝參數對納米晶軟磁合金薄膜的結構、電學特性和磁學

3、特性的影響，優(yōu)化出具有最佳軟磁特性和高頻特性的薄膜制備工藝。 (3)研究了摻雜元素(Cr、Ti、N、O)在鐵鈷基納米晶軟磁合金薄膜內的存在形式以及各個元素對晶粒的細化機制。隨機各向異性模型理論被用來解釋納米晶軟磁合金薄膜的軟磁機理，并討論了界面效應和表面粗糙度對薄膜軟磁特性的影響。 (4)研究了基片旋轉工藝對晶態(tài)和類非晶薄膜的面內單軸磁各向異性的產生機制，并在此基礎上研究了外加磁場工藝對薄膜單軸磁各向異性和高頻特性的影響