1、薄膜太陽電池的研究及其應(yīng)用是當(dāng)今光伏領(lǐng)域的熱點。CdTe多晶薄膜太陽電池作為一種吸收率高、低成本的太陽電池，受到了廣泛的注意。在CdTe太陽電池的制備過程中存在的最主要問題是：很難在p-CdTe上獲得一穩(wěn)定低電阻的歐姆接觸。為了解決這個問題，在鍍上金屬電極之前需要對表面進(jìn)行處理。本文研究了硝酸磷酸和溴甲醇腐蝕對多晶CdTe表面性能，及對多晶CdTe太陽電池器件性能的影響?！　′寮状几g主要是去除多晶CdTe表面氧化物和污染物，獲得潔凈

2、光潔的表面形貌。XRD測試表明，只有當(dāng)溴甲醇腐蝕時間足夠長時，才能在表面獲得很薄的一層碲單質(zhì)。對暗電流-電壓特性的測試結(jié)果說明，經(jīng)溴甲醇腐蝕處理過的CdTe太陽電池表現(xiàn)出小的反向飽和電流，明顯的roll-over現(xiàn)象。電池的轉(zhuǎn)換效率低于未經(jīng)腐蝕的電池和經(jīng)硝酸磷酸腐蝕的電池。　　硝酸磷酸腐蝕優(yōu)先沿著多晶CdTe薄膜的晶界進(jìn)行，使CdTe晶界變寬。硝酸磷酸腐蝕過程中多晶CdTe薄膜表面出現(xiàn)顏色的變化，并伴隨氣泡的生成。經(jīng)硝酸磷酸腐蝕后，可

3、以去除多晶CdTe薄膜表面氧化物和其他污染物，在表面形成一低電阻的富Te單質(zhì)層，Te單質(zhì)主要沿著晶界分布。Te的XRD衍射峰強(qiáng)度表明，隨著腐蝕時間的延長，CdTe表面Te單質(zhì)含量增加。對暗電流-電壓特性的測試結(jié)果說明，經(jīng)硝酸磷酸腐蝕處理過的CdTe太陽電池表現(xiàn)出大的反向飽和電流，弱的roll-over現(xiàn)象。最佳腐蝕時間電池的平均轉(zhuǎn)換效率略高于未經(jīng)腐蝕的電池?！　臻g升華技術(shù)沉積獲得的CdTe多晶薄膜腐蝕結(jié)果表明，硝酸磷酸腐蝕比溴甲