1、永磁同步平面電動機直接利用電磁能產生平面運動，具有出力密度高、低熱耗、高精度的特點，相對于傳統(tǒng)的二維平面定位裝置具有反應快、靈敏度高、隨動性好和結構簡單等優(yōu)點，在現(xiàn)代半導體微細加工裝備和其它超精密二維平面定位裝置中有廣闊的應用前景。本文提出一種復合電流驅動的九相永磁同步平面電動機，并進行以下幾個方面的研究。
　　首先，建立永磁同步平面電機的數(shù)學模型，利用標量磁位和邊界條件對平面電動機永磁陣列產生的磁場進行解析，通過等效和簡化獲得氣

2、隙中磁感應強度的表達式，進而依據(jù)洛倫茲力法和法拉第電磁感應定律推導出平面電動機所產生的電磁力和空載反電動勢的表達式，并建立電機的電壓平衡方程。
　　其次，在前面解析的基礎上研究該種類型平面電機的設計方法，推導電磁設計流程，確定平面電機的主要尺寸，分析電機性能和結構參數(shù)之間的關系，確定動子線圈和定子永磁體的設計思路。借助于Maxwell3D建立單元平面電機的有限元仿真模型，利用有限元法分別分析鐵磁邊界、永磁體厚度和線圈截面參數(shù)等對電