1、磁懸浮支撐技術(shù)是一種新型的技術(shù)，由于具有無摩擦磨損、無需潤滑、低功耗、低噪音及壽命長等傳統(tǒng)支撐技術(shù)無法比擬的優(yōu)點，它在傳統(tǒng)機(jī)械產(chǎn)品向機(jī)電一體化產(chǎn)品轉(zhuǎn)變中發(fā)揮著極大作用，對它的研究日益廣泛和深入。應(yīng)用磁懸浮支撐技術(shù)能夠顯著提高快速精密運(yùn)動平臺的工作性能。
　　 本文結(jié)合實際工程背景研制了一臺平面型磁懸浮平臺實驗樣機(jī)。針對所設(shè)計的實驗樣機(jī)，利用有限元法分析了其靜力學(xué)性能，建立了平面型磁懸浮平臺的動力學(xué)模型，研究了其動態(tài)特性，仿真和實

2、驗分析了平面型磁懸浮平臺中電磁鐵支座的固有頻率。具體的研究內(nèi)容如下:
　　 (1)比較分析了國內(nèi)外磁懸浮平臺結(jié)構(gòu)，研制了能夠?qū)崿F(xiàn)較大行程的平面型磁懸浮平臺，利用有限元法分析了靜態(tài)以及穩(wěn)定懸浮時的靜力學(xué)性能，結(jié)果表明該平面型磁懸浮平臺結(jié)構(gòu)具有良好的剛度。當(dāng)電磁鐵剛度為零時的最大變形量為4.9μm，剛度為1×107N/m時的最大變形量為3.85μm。
　　 (2)建立了平面型磁懸浮平臺動力學(xué)模型。研究了U型電磁鐵剛度對平面型

3、磁懸浮平臺各階固有頻率和振型的影響;分析了縱向電磁鐵和橫向電磁鐵對平面型磁懸浮平臺固有頻率的影響;運(yùn)用多自由度振動系統(tǒng)的解耦與求解原理，進(jìn)行了平面型磁懸浮平臺動力學(xué)模型的解耦，研究了不同電磁鐵剛度阻尼下的響應(yīng)和及其對結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性的影響。
　　 (3)進(jìn)行了平面型磁懸浮平臺固有頻率的分析測試。運(yùn)用有限元法仿真分析了電磁鐵支座的固有頻率并利用頻譜分析儀測試了電磁鐵支座的固有頻率，通過對有限元法建模分析結(jié)果和實驗結(jié)果的對比分析，驗證有限