1、原子力顯微鏡(AFM)目前已經(jīng)成為納米科學(xué)領(lǐng)域重要的研究工具,已在表面科學(xué)、材料科學(xué)、表面化學(xué)、電化學(xué)、生物學(xué)、計量學(xué)等學(xué)科得到廣泛的應(yīng)用。由于其基本的工作原理是依據(jù)鋒利的針尖與樣品表面原子量級載荷的相互作用,來測量表面的納米量級高低變化,而尖銳的針尖就會在掃描中產(chǎn)生一定量的磨損。這種磨損的發(fā)生,不但使得針尖的測量分辨率下降,而且還會給測量實驗的結(jié)果帶來誤差。因此,控制針尖在掃描工作中的磨損量、研究磨損的評價方法以及磨損對表面測量的影響

2、就顯得尤為重要。本論文就圍繞這三方面進行研究和分析。
　　首先,本論文研究了針尖磨損的評價方法。利用針尖掃描特定的幾何結(jié)構(gòu)——臺階結(jié)構(gòu),并借助傅里葉變換分析針尖半徑變化與仿真掃描結(jié)果頻譜的關(guān)系,定量地計算出針尖半徑的大小;同時,通過功率譜密度對各向同性的隨機表面進行分析,定性的評價出針尖在掃描過程中的磨損程度。
　　其次,在敲擊模式下對影響針尖磨損的掃描參數(shù)進行了工藝優(yōu)化研究。分析了探針在掃描測量中的進給速度、掃描振幅、掃描