1、半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在經(jīng)濟生產(chǎn)中扮演的角色越來越重要，作為半導(dǎo)體芯片的主要生產(chǎn)設(shè)備，光刻機工件臺的定位精度直接影響到芯片的線寬及產(chǎn)率。本論文的研究就是建立在步進掃描投影式光刻機基礎(chǔ)上。工件臺的六自由度測量由光柵尺和激光干涉儀等光學(xué)傳感器等傳感器測得，但激光干涉儀是增量式傳感器，零位校準(zhǔn)是其正常工作的必要條件，本文將針對這一過程設(shè)計一種六自由度零位傳感器，并將測得的零位數(shù)據(jù)進行信號處理后傳遞給信號采集卡，進而對激光干涉儀的零位補償值進行修正。

2、>　　首先，本文首先簡要介紹了目前常用的幾種微位移測量方法，根據(jù)各種方法的特點，最終選擇光學(xué)三角法作為位移測量方法。然后分別分析了位置敏感傳感器和角錐棱鏡的基本工作原理，并對位置敏感傳感器結(jié)合角錐棱鏡的六自由度測量方法進行了闡述。
　　其次，本文在基于位置敏感傳感器的微位移測量原理分析的基礎(chǔ)上，從光學(xué)、機械、硬件電路三個方面詳細闡釋了二自由度測量系統(tǒng)的具體設(shè)計與實現(xiàn)過程。，主要包括光學(xué)系統(tǒng)分析、關(guān)鍵器件選型、機械結(jié)構(gòu)分析、硬件電路

3、設(shè)計及軟件程序設(shè)計等工作。
　　然后，針對本文設(shè)計與實現(xiàn)的二自由度測量系統(tǒng)，先對系統(tǒng)可能存在的誤差進行分析，設(shè)計了相應(yīng)的實驗方案對系統(tǒng)性能進行評價，再對分辨力、重復(fù)性兩個方面進行測試，得出實驗結(jié)果，驗證了二自由度測量系統(tǒng)設(shè)計的可行性。
　　最后，本文對激光干涉儀系統(tǒng)的零位校準(zhǔn)問題進行了研究。激光干涉儀是實現(xiàn)光刻機工件臺六自由度測量的關(guān)鍵傳感器，而零位校準(zhǔn)是其正常工作的先決條件，這一過程則由本文設(shè)計的零位傳感器實現(xiàn)。根據(jù)零位傳