1、五自由度坐標(biāo)測(cè)量機(jī)是一種新型非笛卡爾式三坐標(biāo)測(cè)量機(jī),但其采用開(kāi)放鏈?zhǔn)浇Y(jié)構(gòu)、誤差來(lái)源廣且誤差之間耦合嚴(yán)重,這些因素給設(shè)備校正技術(shù)提出了更高的要求。
　　 傳統(tǒng)的校正技術(shù)主要通過(guò)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)或標(biāo)準(zhǔn)工件提供標(biāo)準(zhǔn)值,通過(guò)對(duì)比標(biāo)準(zhǔn)值與待標(biāo)定設(shè)備的測(cè)量值得出設(shè)備誤差值,然后分析不同來(lái)源的誤差與設(shè)備誤差值的空間位置關(guān)系,得出設(shè)備誤差模型。但實(shí)際中,這種操作方法的數(shù)據(jù)處理復(fù)雜、工作量大,不能很好的分離和確定誤差來(lái)源及不同誤差對(duì)設(shè)備精度的影響程度

2、,再加上隨機(jī)誤差的影響,使得設(shè)計(jì)合理、實(shí)際可行的校正方案十分困難。
　　 本文提出一種新的設(shè)備校正方法,首先研究設(shè)備模型的參數(shù)特性,對(duì)誤差來(lái)源和不同誤差對(duì)設(shè)備精度影響程度進(jìn)行特性分析,根據(jù)設(shè)備結(jié)構(gòu)特性提出了由已知點(diǎn)反求設(shè)備位姿的兩球模型,并利用其進(jìn)行最優(yōu)測(cè)量位姿分析。其次,針對(duì)光柵偏心建立了數(shù)學(xué)模型,進(jìn)行了光柵偏心分析,總結(jié)了偏心補(bǔ)償公式。設(shè)計(jì)了特定的夾具和測(cè)頭,提出了分部校正法。依據(jù)此方法進(jìn)行人為的解除參數(shù)之間的耦合,通過(guò)分析