基于子孔徑拼接原理檢測大口徑光學(xué)元件技術(shù)的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、子孔徑拼接是利用小口徑干涉儀實現(xiàn)大口徑光學(xué)元件低成本、高分辨率檢測的一種有效方法。本文首先對子孔徑拼接檢測原理進行了詳細地研究，并重點介紹了拼接模式的選取及子孔徑數(shù)目的確定。其次，在對“局部均化誤差”算法進行了改進的基礎(chǔ)上，利用MATLAB軟件編寫了拼接算法程序，并利用仿真實驗驗證了拼接程序的正確性。同時，建立了一套拼接檢測系統(tǒng)，展開了大口徑平面光學(xué)元件的子孔徑拼接檢測實驗研究，實驗利用二維分布的9個60mm×60mm子孔徑拼接檢測12

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