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文檔簡介
1、該文提出了兩類新穎的MEMDAC,其基本原理和電路中的權(quán)電阻斷模轉(zhuǎn)換器類似.一類是權(quán)剛度數(shù)模轉(zhuǎn)換器（WSDAC）,它們利用梁的剛度作為比例因子,從而實(shí)現(xiàn)數(shù)模轉(zhuǎn)換.另一類是權(quán)間隙數(shù)模轉(zhuǎn)換器（WGDAC）,它利用限位器設(shè)定的執(zhí)行器陣列移動的范圍大小不同實(shí)現(xiàn)比例因子.該文提出MEMDAC還可以應(yīng)用于頻率的調(diào)節(jié),并設(shè)計了一種靜電流驅(qū)動數(shù)字可調(diào)微機(jī)械諧振器（DTMR）.DTMR利用MEMDAC作為頻率調(diào)節(jié)單元,其諧振頻率由數(shù)字驅(qū)動電壓調(diào)節(jié).該文提
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