1、該文便對這種形狀記憶合金薄膜驅動的復合膜微驅動器進行了理論研究和有限元仿真分析,對結構進行優(yōu)化設計和實驗研究.結構幾何參數在設計中是一個影響器件性能的非常重要的因素,該文應用薄板大撓度理論對驅動膜進行了初步的理論研究.把復合膜的邊緣部分和中心雙膜區(qū)域的結合面作為連續(xù)邊界條件處理,分別獨立研究,建立了不等寬度的復合膜的理論模型.應用此理論方程可以對復合膜的厚度及其寬度等結構參數對于復合膜的撓度的影響進行分析.該文最后制備了電阻條圖案經過優(yōu)

2、化了的復合膜微驅動器,并應用激光干涉的方法對其動態(tài)的驅動性能進行了多種工況下的對比測試,實驗測得的規(guī)律可以用仿真的結果加以解釋.與驅動器優(yōu)化前的性能測試數據相比,通過優(yōu)化設計,驅動器的性能得到了顯著的提高.從該文的工作還可以看出,在MEMS器件的開發(fā)中,從概念設計的提出到仿真研究的確認,以及進一步的結構設計優(yōu)化在整個器件開發(fā)過程中扮演著非常重要的角色,重視有限元仿真研究在器件開發(fā)過程中的作用,對于我們節(jié)省研制費用、加快器件的開發(fā)進度,提