1、該文是"多自由度壓電式微位移機電系統研究"課題的重要部分之一.在收集了大量微位移工作臺方面的資料的基礎上,該文對國內外的研究現狀做了介紹;對常見的微位移系統中的機構和驅動器做了闡述和比較;還對微位移系統的評價標準做了較全面的總結.在第二章和第三章中,采用了具有單一方向運動而無耦合運動的采用柔性鉸鏈的雙平行四桿微位移機構和采用柔性鉸鏈的單平行四桿微位移機構,制定出了一種三自由度(X-Y-θ)工作臺的設計方案.并針對所用兩種微位移機構推導了

2、它們的受力變形公式,建立了微位移工作臺轉動單元的優(yōu)化設計模型,對原設計參數做了改進.另外,該文還運用了有限元模擬軟件,對微位移工作臺轉動和平動單元做了詳細的分析,研究了主要力學性能.在設計出工作臺具體結構后,應用有限元法分析了制造誤差,制定了一套可靠的工藝方案,成功地制造出樣機.該文第五章中,利用了一套測試裝置分別測試了三個自由度上驅動力和位移的關系,驗證了理論研究和設計的正確性;另外,還測試了驅動器在安裝前后的特性,為該課題的進一步研