1、隨著社會(huì)邁向信息時(shí)代,人們對(duì)信息的需求急劇增加,對(duì)通信容量提出越來越高的要求.密集波分復(fù)用是最經(jīng)濟(jì)有效地解決通訊網(wǎng)絡(luò)容量問題的技術(shù).實(shí)現(xiàn)波分復(fù)用的核心器件是波分復(fù)用器.蝕刻衍射光柵是采用平面波導(dǎo)技術(shù)制成的集成密集波分復(fù)用器件,它具有信道損耗低、串?dāng)_小、器件尺寸小、容易擴(kuò)展信道、制作和封裝工藝相對(duì)簡(jiǎn)單等優(yōu)點(diǎn).該論文以用于光通信中的平面集成蝕刻衍射光柵為研究對(duì)象,具體的分析了的它的工作原理和設(shè)計(jì)思想,并給出了設(shè)計(jì)中的經(jīng)驗(yàn)和方法.器件設(shè)計(jì)后需

2、要進(jìn)行性能計(jì)算和模擬以減小復(fù)雜的集成光器件制作試驗(yàn),該論文描述了計(jì)算蝕刻衍射光柵比較準(zhǔn)確的模擬方法,其結(jié)果能夠很好的接近實(shí)際情況.基于這樣的模擬計(jì)算方法,該論文提出了改進(jìn)蝕刻衍射光柵設(shè)計(jì)的幾種方法:1.光柵的兩點(diǎn)法設(shè)計(jì).這個(gè)方法很好的減小了像差,提高了成像質(zhì)量;2.平場(chǎng)輸出蝕刻衍射光柵的設(shè)計(jì).這個(gè)設(shè)計(jì)可以省略輸出波導(dǎo),大大降低制造復(fù)雜度;3.輸出頻譜的平坦化設(shè)計(jì).設(shè)計(jì)改變了器件的輸出頻譜,很大的降低了對(duì)系統(tǒng)其它器件的要求.4.低回?fù)p蝕刻

3、衍射光柵的設(shè)計(jì).設(shè)計(jì)最大程度的提高了器件的回?fù)p性能,適合更嚴(yán)格的要求.對(duì)設(shè)計(jì)好的集成波導(dǎo)器件,該論文設(shè)計(jì)并試驗(yàn)了器件的制作的全部工藝,包括波導(dǎo)薄膜的沉積,掩模的設(shè)計(jì)制作,光刻,濺射金屬薄膜,剝離法制作金屬掩模,干法深刻蝕,硅片切割,端面磨拋,波導(dǎo)對(duì)準(zhǔn)和性能測(cè)試.最后該文實(shí)現(xiàn)了器件樣品的制作.器件制作的工藝流程中該文重點(diǎn)研究了基于半導(dǎo)體技術(shù)的二氧化硅薄膜沉積技術(shù).波導(dǎo)薄膜是器件的基礎(chǔ),其光學(xué)性能很大程度決定了器件性能.這里基于國(guó)產(chǎn)設(shè)備進(jìn)行