1、光柵測(cè)量技術(shù)具有高精度、高靈敏性、動(dòng)態(tài)范圍大、易于實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化等特點(diǎn)，可實(shí)現(xiàn)對(duì)位移、速度等機(jī)械量的測(cè)量。為提高測(cè)量精度和分辨力，有效控制測(cè)量成本，莫爾條紋電子學(xué)細(xì)分技術(shù)被廣泛研究和應(yīng)用。 本文對(duì)莫爾條紋電子學(xué)細(xì)分技術(shù)進(jìn)行了深入研究，提出了提高細(xì)分精度和分辨力的解決方案。 從基本原理上歸納總結(jié)實(shí)際應(yīng)用中各種細(xì)分方法的實(shí)現(xiàn)途徑和特點(diǎn)。重點(diǎn)對(duì)正切法細(xì)分技術(shù)進(jìn)行研究并對(duì)細(xì)分精度影響因素進(jìn)行理論分析；在常規(guī)信號(hào)調(diào)理的基礎(chǔ)上，通過算法

2、對(duì)莫爾條紋信號(hào)進(jìn)行噪聲控制和相位校正，可極大提高細(xì)分精度。 為獲得高質(zhì)量信號(hào)，將神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)自適應(yīng)算法應(yīng)用于莫爾條紋信號(hào)降噪。神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)層實(shí)現(xiàn)信號(hào)的非線性映射，使線性和非線性噪聲均能得到有效抑制；將濾波步長(zhǎng)與信號(hào)頻率構(gòu)成函數(shù)關(guān)系，步長(zhǎng)的動(dòng)態(tài)調(diào)整和算法的自適應(yīng)性保證了寬頻帶濾波效果。濾波后的莫爾條紋信號(hào)質(zhì)量明顯改善。 基于正切法細(xì)分，提出了一種新的相位誤差補(bǔ)償算法，通過信號(hào)區(qū)間的分段處理，使短周期信號(hào)的各相角均可得到實(shí)時(shí)校正，有