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文檔簡(jiǎn)介
1、本文通過(guò)參閱大量的有關(guān)工件不作陰極的等離子體滲氮方法的中外文獻(xiàn)的基礎(chǔ)上,選定了兩個(gè)實(shí)驗(yàn)方案進(jìn)行實(shí)驗(yàn),由此得出以下結(jié)論:1、 在和傳統(tǒng)的陰極滲氮相同的溫度下,只要滿足一定的工藝參數(shù),對(duì)電壓懸浮的工件進(jìn)行等離子體滲氮,可以得到和傳統(tǒng)的陰極等離子體滲氮相同的滲氮效果。2、 當(dāng)氣壓高于350Pa 時(shí)懸浮等離子體滲氮沒有滲氮效果,當(dāng)氣壓低于250Pa時(shí),懸浮等離子體滲氮和陰極滲氮相比,滲層厚度和表面硬度都較大。3、 和活性柵極懸浮等離子體滲
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