1、微懸臂梁是微米納米科技領域重要的力學傳感器，微懸臂梁的彈性常數(shù)是決定其力學測量性能的重要參數(shù)。工作在高階模式下的微懸臂梁具有更高的分辨力和靈敏度，由于基頻模式下彈性常數(shù)標定的理論和方法在高階模式下不再適用，這就需要對微懸臂梁高次諧波下的彈性系數(shù)進行標定。
　　針對上述問題，本課題探索了兩種高階模式下微懸臂梁彈性常數(shù)的標定方法。(1)利用原子力顯微鏡測量高次諧波下微懸臂梁的諧振頻率和品質因數(shù)，通過理論公式計算得出微懸臂梁在各次諧波下

2、的彈性常數(shù);(2)利用顯微多普勒激光測振儀測量微懸臂梁的功率譜密度，再通過功率譜密度利用理論公式計算得出微懸臂梁的彈性常數(shù)。然后，通過微懸臂梁在高階模式下的振型擬合對兩種彈性常數(shù)標定方法進行了比對和分析，發(fā)現(xiàn)利用顯微激光多普勒激光測振儀的測量計算方法在高階模式下更加適用。
　　本論文的主要內容包括:
　　1.第一章:介紹了微懸臂梁的結構特性、工作模式和應用，討論了微懸臂梁彈性常數(shù)標定的基本原理和主要方法，論述了國內外高階模式

3、下微懸臂梁彈性常數(shù)標定的國內外研究現(xiàn)狀。
　　2.第二章:介紹了微懸臂梁高階模式下的動態(tài)性能，推導了兩種高階模式下微懸臂梁彈性常數(shù)標定的公式:高階Sader法和高階熱噪聲法。
　　3.第三章:利用原子力顯微鏡對微懸臂梁高階模式下的振動特性進行測量，得到高階Sader法中與微懸臂梁高階彈性常數(shù)相關的1-5階共振頻率和品質因數(shù)。
　　4.第四章:利用顯微多普勒激光測振儀對微懸臂梁高次諧波下的振動特性進行測量，得到高階熱噪聲