晶圓搬運機器人的軌跡規(guī)劃及伺服系統(tǒng)實現(xiàn).pdf_第1頁
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文檔簡介

1、近些年來，SCARA機器人在半導(dǎo)體工業(yè)中得到了廣泛的使用，該型機器人具有結(jié)構(gòu)簡單，速度快等特點。本文基于新型直接驅(qū)動晶圓搬運機器人，提出了新的任務(wù)空間軌跡規(guī)劃方法，同時，討論了機器人的運動控制方案，以及晶圓搬運機器人伺服系統(tǒng)選型、搭建和實驗。
　　文中首先建立了晶圓搬運機器人的剛體模型，包括運動學(xué)和動力學(xué)模型。為軌跡規(guī)劃和控制器設(shè)計提供了相應(yīng)的信息。其次，文中提出了基于剛體動力學(xué)模型的軌跡規(guī)劃算法。再次，文章在運動控制方面也做了一

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