干刻法制備約瑟夫森結(jié).pdf_第1頁
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文檔簡介

1、本文介紹了光刻和離子束刻蝕的相關(guān)知識，并探索了正膠S1813的光刻條件和Ar+離子束刻蝕的工藝條件，并用摸索出的條件制備了高溫超導(dǎo)約瑟夫森結(jié)，測試了結(jié)的微波性能。
　　
　　
　　
　　
　　
　　
　　
　　
　　
　　
　　
　　
　　
　　
　　
　　
　　
　　
　　
　　

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