1、射頻微電子機械系統(tǒng)(RF MEMS)技術在現(xiàn)代通信領域中越來越受到重視。開關是射頻電路中的重要元件，具有低插入損耗、高隔離度、低開啟電壓、高可靠性的RF MEMS開關已經(jīng)成為RF MEMG器件中的研究熱點。基于MEMS開關的MEMS移相器具有頻帶寬、損耗低、微型化、易于集成等特點，在射頻電路，尤其是天線陣列的應用中具有廣泛前景。 本文以國防重點實驗室基金項目——毫米波MEMS天線陣列基礎技術研究中的毫米波段MEMS開關和MEM

2、S移相器為研究對象，從實際項目工程應用出發(fā)，分類介紹和設計了兩種MEMS開關和三種MEMS移相器。 毫米波MEMS開關部分介紹電容耦合型和金屬接觸型兩種MEMS開關，論述他們的基本原理、技術指標、工藝流程及一般實現(xiàn)方法，并分別進行了設計仿真。以降低開關的驅(qū)動電壓為目標，提出了對于電容耦合型MEMS開關的懸梁改進的一些方案，并在設計金屬接觸型MEMS開關時借鑒了他們。毫米波MEMS移相器部分介紹了開關線型、分布式和反射型三種MEM