1、隨著微機(jī)械、微加工技術(shù)的飛躍發(fā)展，高頻、微振動(dòng)的測(cè)量在生產(chǎn)和科研中越來越受到重視。光學(xué)檢測(cè)方法作為一種重要的非接觸式無損檢測(cè)技術(shù)，以其具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、精度高和穩(wěn)定性好的特點(diǎn)，被廣泛的應(yīng)用。其中，基于光折變晶體的非線性干涉測(cè)量技術(shù)是一種新型的光學(xué)檢測(cè)方法，本文即利用光折變晶體材料的特性，來實(shí)現(xiàn)寬帶、微小振動(dòng)的測(cè)量。測(cè)量系統(tǒng)采用零差干涉結(jié)構(gòu)，用硅酸鉍晶體Bi12SiO20(BSO)記錄信號(hào)光與參考光干涉所形成的動(dòng)態(tài)全息光柵，并實(shí)時(shí)衍射，再由光

2、電探測(cè)器探測(cè)從BSO晶體透射的信號(hào)光與參考光的衍射光所形成的干涉信號(hào)，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)振動(dòng)的測(cè)量。
　　本文重點(diǎn)研究了在BSO晶體中記錄全息光柵的條件，包括兩光束夾角、光強(qiáng)比，與衍射效率關(guān)系的研究，確定了最佳記錄條件，同時(shí)分析了影響衍射效率的其他因素。在參考光路中利用1/4波片和偏振片來改變光束偏振態(tài)，采用反射式光路增強(qiáng)信號(hào)光和參考光在BOS晶體中的二波耦合效率，使干涉系統(tǒng)在晶體不加外電場(chǎng)情況下，具有較高測(cè)量靈敏度。以一定頻率驅(qū)動(dòng)的壓電