1、在雙頻激光拍波絕對距離干涉測量中，合成波長作為測量的“標尺”，其量值大小及其穩(wěn)定性對測量精度有很大影響。由于合成波長與雙頻激光的頻差成反比，頻差越大，合成波長越小，測量精度越高，因此，在絕對距離干涉測量中需要采用頻差達幾GHz、幾十GHz、甚至幾百GHz以上的大頻差雙頻激光器作為光源。然而，這種雙頻激光器如此大的頻差很難直接測量，也就很難獲得雙頻激光拍波合成波長的量值大小。由于在進行絕對距離干涉測量之前，要求準確獲知合成波長的量值，因此

2、，開展大頻差雙頻激光拍波合成波長標定方法研究很有必要，這在絕對距離干涉測量領(lǐng)域占有極其重要的地位。
　　本論文在分析合成波長標定原理的基礎(chǔ)上，設(shè)計了一種采用超外差干涉測量技術(shù)的大頻差雙頻激光拍波合成波長的標定方法，并從理論上分析了該方法的可行性。論文的主要內(nèi)容包括以下幾部分:
　　第一，概述了激光絕對距離干涉測量技術(shù)的應(yīng)用、研究現(xiàn)狀與發(fā)展趨勢，確定了本論文的研究內(nèi)容及設(shè)計要求。
　　第二，簡要分析了激光干涉測量的基本原

3、理，包括激光拍波干涉原理和超外差干涉測量原理。重點分析了雙頻激光拍波絕對距離干涉測量的基本原理和方法。
　　第三，對雙頻激光拍波合成波長的標定原理和方法進行了推導(dǎo)和詳細分析，并設(shè)計了基于超外差絕對距離干涉測量原理的合成波長標定系統(tǒng)。該標定系統(tǒng)的主要組成部分包括雙頻激光源、光隔離器、聲光調(diào)制器、位移測量儀、偏振分光棱鏡、光電探測器、信號處理電路和相位計等。對各個器件的選擇依據(jù)、主要技術(shù)指標及其在系統(tǒng)中的作用等都進行了詳細的分析與說明

4、。
　　第四，對合成波長標定系統(tǒng)的誤差來源及標定不確定度進行了分析，利用Matlab軟件對標定不確定度進行了數(shù)值分析計算。在此基礎(chǔ)上對標定方法進行了改進，對改進后獲得的標定不確定度進行了理論分析，并與改進前所獲得的標定不確定度進行了對比。分析結(jié)果表明:采用改進的標定方法，當合成波長等于2mm時，標定不確定度優(yōu)于11.5nm，可以滿足雙頻激光超外差絕對距離干涉測量的要求。
　　最后，設(shè)計了一種基于光學(xué)頻率梳的雙頻激光拍波合成波