1、近年來隨著微納技術(shù)的迅速發(fā)展，各種高精密微小元器件得到了廣泛的使用，這對檢測方法提出了更高的要求。傳統(tǒng)方法已經(jīng)無法滿足新器件的檢測需求，需要有更新的方法來實現(xiàn)這一功能，條紋投影術(shù)和顯微系統(tǒng)相結(jié)合的三維形貌測量方法就是針對這種需求而提出的。具體來說本文主要做了以下幾個方面的工作：
　　 1、通過閱讀文獻，分析了國內(nèi)外條紋投影測量技術(shù)的研究現(xiàn)狀，選定顯微條紋投影測量系統(tǒng)和方法進行研究，用于微小元器件的三維輪廓測量。
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2、、研究了相移法測量物體三維輪廓信息的原理。首先分析了相位提取和相位展開算法，并提出利用五步相移法進行相位提取，利用基于留數(shù)去除的算法進行相位展開。
　　 3、搭建測量系統(tǒng)。其中硬件部分主要包括：光學(xué)投影模塊和圖像采集模塊等；軟件部分主要包括Labview編寫的正弦條紋生成模塊、圖像采集存儲模塊、Matlab編寫的相位提取模塊、相位展開模塊、系統(tǒng)標定模塊及物體輪廓生成模塊等。
　　 4、進行系統(tǒng)標定。首先研究了測量模型，然

3、后在此基礎(chǔ)上提出兩種系統(tǒng)標定方案：投射均勻條紋，因為有效波長是一個變量，所以要對測量空間內(nèi)的所有點進行標定；投射變形條紋，此時有效波長為一個常量，只需取一點進行標定，得出有效波長即可。本文利用第一種方法完成了對系統(tǒng)Z向的標定，并對其標定結(jié)果進行驗證。
　　 5、利用系統(tǒng)完成對微小元器件的測量。首先利用五步相移法和陶瓷板對系統(tǒng)進行重復(fù)性、精度等一系列的測試，其測量范圍為毫米級、精度為微米級，最后利用本系統(tǒng)完成對硬幣表面圖案的測量，