1、空氣流量傳感器是汽車電子控制燃油噴射裝置中決定系統控制精度的重要部件之一，又稱空氣流量計。它是汽車電子配件中兩個尚未能實現國產化的部件之一。研制熱式氣體質量流量傳感器芯片，目的就是通過實驗，掌握厚膜電路工藝，以期可以制作出性能優(yōu)良的產品來取代進口產品，實現國有化。
　　 本文對汽車空氣質量流量計綜合分析各種工藝與技術進行了探討，詳盡地闡述了傳感器工作的原理。采用厚膜電路工藝制作熱膜式氣體流量傳感器，重點放在熱式氣體流量計傳感器芯

2、片的研制上。從芯片的結構和電路設計、熱敏電阻材料和導電銀漿的選取、熱敏電阻結構設計和制備、燒結工藝對熱敏電阻的影響和低熱導基板材料的研制等方面進行了詳盡的理論分析和反復的實踐驗證。本文對兩種結構進行了實驗對比：一是一體式結構；二是分體式結構。實驗發(fā)現，設計一體式結構比分體式結構有更好的結構穩(wěn)定性，但基板材料的導熱能力在熱影響方面存在著較大問題。而采用分體式結構大大減弱了發(fā)熱電阻的熱影響，且響應速度高，靈敏度好。測量精度完全達到了要求，卻