1、微位移驅(qū)動(dòng)器作為自動(dòng)控制系統(tǒng)中的重要元件正在不斷地引起國(guó)內(nèi)外許多學(xué)者的關(guān)注.現(xiàn)有的微驅(qū)動(dòng)器很難同時(shí)滿足微位移、大行程和大驅(qū)動(dòng)力的要求,而石蠟驅(qū)動(dòng)的微位移驅(qū)動(dòng)器能夠較好的解決這一問(wèn)題.本文分析了石蠟的熱膨脹特性.在此基礎(chǔ)上設(shè)計(jì)制造了石蠟驅(qū)動(dòng)的微位移驅(qū)動(dòng)器,并且制造了微驅(qū)動(dòng)器靜態(tài)和控制實(shí)驗(yàn)臺(tái).對(duì)微驅(qū)動(dòng)器靜態(tài)和控制特性進(jìn)行了分析.本文的主要工作成果如下:●設(shè)計(jì)制造了一種新型的石蠟驅(qū)動(dòng)的微驅(qū)動(dòng)器,提出一種新型的石蠟封裝方式,消除了原有微驅(qū)動(dòng)器設(shè)

2、計(jì)中,采用厚橡膠筒對(duì)石蠟進(jìn)行封裝所引起的石蠟體積變化到微驅(qū)動(dòng)器輸出位移間的非線性環(huán)節(jié).并在后邊的實(shí)驗(yàn)過(guò)程中取得了很好的封裝效果.●對(duì)微驅(qū)動(dòng)器的各種工作狀態(tài)下的溫度場(chǎng)進(jìn)行了計(jì)算,同時(shí)對(duì)微驅(qū)動(dòng)器輸入功率與溫度間的模型進(jìn)行了初步分析.為微驅(qū)動(dòng)器控制策略的選擇提供了理論依據(jù).●設(shè)計(jì)制造了微驅(qū)動(dòng)器靜態(tài)及控制實(shí)驗(yàn)臺(tái),對(duì)微驅(qū)動(dòng)器進(jìn)行了各種靜態(tài)實(shí)驗(yàn),分析了微驅(qū)動(dòng)器的各種靜態(tài)特性,提出了一些改善微驅(qū)動(dòng)器靜態(tài)特性的方法.●對(duì)微驅(qū)動(dòng)器進(jìn)行了初步的控制并取得了