超低漏電超快恢復二極管壽命控制新技術研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、高壓功率快恢復二極管(以下簡稱FRD)廣泛地應用于電力電子電路中,作為續(xù)流二極管與三端功率器件并聯使用,是現代電力電子技術中的關鍵器件。圍繞著如何減下FRD的反向恢復時間、提高綜合性能,國際功率半導體器件領域進行了廣泛的探討,熱點集中在了器件結構設計和壽命控制等技術上,其中又以壽命控制技術為為主要焦點。在利用壽命控制技術減小FRD反向恢復時間的研究中,局域壽命控制技術以其良好的軸向局域摻雜優(yōu)勢(相對于整體壽命控制技術)備受關注。

2、 本課題研究提出了新型的局域鉑摻雜技術和電子輻照技術相結合的壽命控制技術,以期改善FRD的綜合性能。局域鉑摻雜的實現方法是利用氫離子輻照感生空位缺陷汲取鉑原子,局域鉑摻雜的位置和濃度要受到氫離子輻照能量和劑量的限制,同時形成的局域鉑摻雜也具有一定的寬度。這樣就將氫離子輻照的局域優(yōu)勢與鉑能級位置的優(yōu)勢結合起來。電子輻照技術,廣泛應用于半導體器件的制造中,本課題用來進一步降低反向恢復時間。 本論文作者通過仿真測試,驗證了課題研究的理

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