1、隨著電磁器件向小型化、高頻化方向發(fā)展，對軟磁材料的性能提出了更高的要求。具有高磁導(dǎo)率、高飽和磁化強度、高電阻率及適度大小的平面單軸各向異性的軟磁材料受到人們的廣泛關(guān)注，成為一個活躍的研究領(lǐng)域。FeCo基軟磁薄膜更是因其具有高磁導(dǎo)率、高飽和磁化強度及寬頻帶范圍的高磁導(dǎo)率特性，成為研究熱點。研究表明，摻雜適量的稀土元素可以提高FeCo基軟磁薄膜的共振頻率，影響其復(fù)數(shù)磁導(dǎo)率頻率依賴特性，從而提高材料的高頻軟磁性能。
　　 本文采用射頻

2、磁控濺射法，通過改變實驗參數(shù)，用Si(111)做基底制備了一系列FeCoNd納米軟磁薄膜。分別利用X-ray衍射(XRD)和透射電鏡(TEM)測量了樣品的晶體結(jié)構(gòu)和微觀結(jié)構(gòu);利用能量散射X射線光譜儀(EDS)測得了樣品的成分;利用原子力顯微鏡(AFM)得到了樣品的表面形貌及粗糙度，用振動樣品磁強計(VSM)和磁力顯微鏡(MFM)分別研究了樣品的室溫靜態(tài)磁性和磁疇結(jié)構(gòu);用短路微擾傳輸線法測量了樣品的高頻特性。得出了以下結(jié)論：
　　

3、 一、室溫下制備的樣品：
　　 室溫條件下制備的FeCoNd薄膜為非晶結(jié)構(gòu)，其磁性在很大程度上依賴于薄膜的厚度t。當(dāng)t高于一個臨界厚度tc，受很強的垂直磁各向異性的影響產(chǎn)生了條紋疇。產(chǎn)生垂直磁各向異性是由于FeCo顆粒柱狀生長所引起的形狀各向異性的影響。相反，當(dāng)薄膜厚度減少至低于tc，就會得到面內(nèi)單軸各向異性和很好的軟磁性能。
　　 二、真空磁場熱處理樣品：
　　 室溫條件下制備出來的有條紋疇的FeCoNd薄膜樣