新型寬量程真空計(jì)的研制.pdf_第1頁(yè)
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1、真空計(jì)是一種真空測(cè)量?jī)x器,它在科學(xué)研究和工業(yè)生產(chǎn)中應(yīng)用廣泛。論文第一部分講述了真空計(jì)的發(fā)展現(xiàn)狀,并對(duì)真空計(jì)的分類和發(fā)展趨勢(shì)進(jìn)行了介紹。第二部分詳細(xì)地講述了電阻真空計(jì)和熱陰極電離真空計(jì)的測(cè)量原理和工作電路,并由此提出了一種新型寬量程真空計(jì)的設(shè)計(jì)方案。在當(dāng)前測(cè)量寬范圍真空環(huán)境的場(chǎng)合,國(guó)內(nèi)外常用儀器是“模塊復(fù)合”真空計(jì)和“規(guī)管復(fù)合”真空計(jì)?!澳K復(fù)合”真空計(jì)是指每只規(guī)管的電路部分都制作成一個(gè)模塊,然后將這些模塊組合在一起,成為一臺(tái)多規(guī)真空計(jì)。

2、這種真空計(jì)的應(yīng)用在只能使用單一規(guī)管測(cè)量的場(chǎng)合受到了限制?!耙?guī)管復(fù)合”是指將幾只測(cè)量范圍不同的規(guī)管制作在一個(gè)管殼內(nèi),在測(cè)量不同的真空度時(shí)選用相應(yīng)測(cè)量范圍的規(guī)管,如同使用一只單一規(guī)管。但是這種真空規(guī)管制造工藝復(fù)雜,價(jià)格昂貴,且不同的規(guī)管燈絲會(huì)相互產(chǎn)生干擾,影響測(cè)量精度。不同于上面提到的兩種復(fù)合式真空計(jì),我們?cè)O(shè)計(jì)的新型寬量程真空計(jì)是在一個(gè)ZJ-2型的標(biāo)準(zhǔn)電離規(guī)管上實(shí)現(xiàn)電阻和熱陰極電離兩種不同的測(cè)量方式,從而實(shí)現(xiàn)了從1.0×1.05Pa~1.0

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