1、大功率射頻板條CO2激光器包括板條電極結構、光腔結構、射頻電源和控制系統(tǒng)等幾大核心關鍵技術，本文主要針對大功率射頻激勵電源，研究電源控制檢測系統(tǒng)，為激光器穩(wěn)定可靠運行設計相關電路和軟件。論文主要研究工作如下：
　　 ⑴分析10KW它激式射頻電源的工作原理和系統(tǒng)電路結構、控制方式和控制流程。射頻電源包括射頻信號發(fā)生器、300W功率前置放大、電子管末級放大電路和定向耦合器，工作頻率為95.6MHz，占空比從10％~90％連續(xù)可調，最

2、大輸出功率10kW，用于驅動1kW射頻板條激光器。
　　 ⑵設計DSP射頻電源控制系統(tǒng)。以TMS320DSP2407為核心，利用光耦TPL521輸入和輸出的隔離，采用MAX430運算放大器把外部輸入模擬采樣信號轉換為DSP可以接收處理的信號，采用CPLD進行I/O口擴展，選用SST39VF400和CY7C1021V進行存儲器擴展。
　　 ⑶以軟件CCS作為開發(fā)平臺，完成開關機的流程控制，自鎖互鎖保護，錯誤報警輸出和狀態(tài)顯

3、示輸出的程序編寫。其中開機流程控制包括三種開機方式即內控手動、內控自動、外控自動開，以滿足不同場合下的開機要求。實現(xiàn)了對按鍵開關量如開機信號、開冷卻信號、開燈絲信號、開光閘信號、開高壓等信號的檢測，以及狀態(tài)開關量如缺相、風壓、水壓、燈絲電壓、燈絲電流、柵極電壓、柵極電流等信號的檢測，對屏壓電壓和屏壓電流等模擬信號采樣。
　　 本文研究工作對于發(fā)展高功率、高光束質量CO2氣體激光器，保證激光器穩(wěn)定可靠運行提供了理論基礎和設計依據(jù)。