1、精密定位技術(shù)是蔭罩式等離子顯示器(SM-PDP)生產(chǎn)過程中的關(guān)鍵性基礎(chǔ)性技術(shù)，是保證PDP良好成像效果的前提。本文主要研究利用激光莫爾信號(hào)實(shí)現(xiàn)高精度位置檢測與精密定位的理論、方法及其關(guān)鍵技術(shù)，并將相應(yīng)成果應(yīng)用到工業(yè)現(xiàn)場控制中。 應(yīng)用物理光學(xué)和傅立葉光學(xué)理論，分析了雙級(jí)光柵衍射時(shí)的相對(duì)位移與激光莫爾信號(hào)強(qiáng)度的關(guān)系，建立了基于激光莫爾信號(hào)的精密位移測量數(shù)學(xué)模型。應(yīng)用數(shù)值分析方法對(duì)建立的數(shù)學(xué)模型進(jìn)行了計(jì)算機(jī)仿真。探討了精密定位的基本理

2、論依據(jù)，研究了精密定位的基本控制規(guī)則。在精密定位研究的基礎(chǔ)上，研制開發(fā)了蔭罩式等離子顯示器(SM-PDP)精密定位工作臺(tái)，精密定位臺(tái)以工業(yè)控制計(jì)算機(jī)為核心，采用CCD和激光莫爾傳感器檢測位置偏差，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)采用脈沖細(xì)分式驅(qū)動(dòng)步進(jìn)電機(jī)，并通過精密絲杠機(jī)構(gòu)將細(xì)分后步進(jìn)電機(jī)的微小角度轉(zhuǎn)化為微米級(jí)的線性位移，以滿足定位控制的需要，最終的定位誤差依靠計(jì)算機(jī)閉環(huán)控制作用來消除。在研制的SMPDP精密定位工作臺(tái)上，進(jìn)行了精密平面定位技術(shù)的研究。通過對(duì)平