光波導(dǎo)近場光學(xué)顯微檢測關(guān)鍵技術(shù)研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、光波導(dǎo)的近場光學(xué)顯微檢測是近年出現(xiàn)的一種新型檢測技術(shù),該文對此技術(shù)進行了初步的理論和實驗研究.對近場光學(xué)顯微鏡而言,光纖探針制備與探針-樣品間距控制是保證成像質(zhì)量的兩個關(guān)鍵因素.在光纖探針制作方面,該論文提出了一種變溫腐蝕制備光纖探針的新方法,獲得了35~52度的大錐角光纖探針;進一步對光纖探針腐蝕成形過程進行定量研究,發(fā)現(xiàn)當(dāng)光纖直徑腐蝕減小到一定程度以后,腐蝕速度隨直徑變小而加快;通過對多次實驗結(jié)果進行擬合,得出了光纖直徑隨腐蝕時間變

2、化的定量經(jīng)驗公式;借助該經(jīng)驗公式從理論上定量模擬了變溫法獲得大錐角針尖的過程.在探針-樣品間距控制技術(shù)方面,分別對超聲共振法和雙壓電晶片法進行了實驗研究,設(shè)計加工了一個超聲共振法分時驅(qū)動檢測電路,采用鎖相檢測技術(shù)測量了不同長度的雙晶片的共振峰,得到了雙壓電晶片共振振幅隨探針-樣品間距減小的變化曲線.為了檢測大尺寸光波導(dǎo),搭建了一套大范圍近場光學(xué)顯微鏡,其檢測范圍可達到80mm×80mm,并測量得到了光波導(dǎo)表面的光強隨探針樣品間距變化曲線

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