1、隨著微電子和微機械加工技術(shù)的發(fā)展，研制尺寸小、重量輕、功耗低、響應(yīng)快且易與IC(IntegratedCircuit)集成的微熱板式氣壓傳感器成為可能并受到重視。在國內(nèi)，對半導(dǎo)體固態(tài)壓力傳感器的研究已經(jīng)很深入，但對微熱板式氣壓傳感器的研究才剛剛起步。在此類微傳感器的研究中，針對傳感器響應(yīng)特性及各種性能指標(biāo)的測試研究具有非常重要的意義。 本文首先介紹了微熱板式氣壓傳感器的結(jié)構(gòu)，分析了其傳熱特性，設(shè)計了恒壓電橋、恒電流、恒功率以及恒溫

2、四種測試方案。同時，從理論上分析了不同方案下傳感器的響應(yīng)特性。在此基礎(chǔ)上，為實測微熱板式氣壓傳感器的工作特性，研制了一種基于ARM的微熱板式氣壓傳感器測試儀。文中詳細(xì)論述了測試儀的全部設(shè)計開發(fā)過程，包括測試儀的需求分析、總體設(shè)計、功能模塊的劃分以及軟硬件的設(shè)計與實現(xiàn)。 測試儀在硬件方面，主要包括基于S3C44BOX的核心板設(shè)計，集成ADC、DAC以及其它I/O設(shè)備的副板卡設(shè)計，模擬信號處理板卡的設(shè)計，儀表外殼及接口設(shè)計。在軟件方

3、面，采用μC/OS-Ⅱ?qū)崟r操作系統(tǒng)的多任務(wù)環(huán)境，利用其多任務(wù)調(diào)度功能，合理地協(xié)調(diào)和組織測試儀的各種硬件資源，提高整個系統(tǒng)的實時性和可靠性。采用μC/GUI實現(xiàn)了測試儀的波形顯示功能，便于用戶觀察傳感器信號和氣壓信號的變化趨勢及細(xì)微波動。系統(tǒng)中各個功能都設(shè)有中文幫助菜單，以便于用戶使用。此外，測試儀還擴展了與上位機通信、自動報警、控制量輸出和氣壓模擬量輸出等功能。 該測試儀的研制也為微熱板式氣壓傳感器將來的產(chǎn)業(yè)化做好了準(zhǔn)備。經(jīng)過實