1、本文介紹了一種基于PLC的模塊化直拉單晶爐熱場(chǎng)溫度控制系統(tǒng)，它具有可擴(kuò)展性強(qiáng)、靈活性好、易于維護(hù)等特點(diǎn)，只要做很少的模塊擴(kuò)展與軟件修改工作，就可以滿(mǎn)足各類(lèi)直拉單晶爐控制系統(tǒng)的要求。 鑒于現(xiàn)在直拉單晶爐熱場(chǎng)溫度控制的現(xiàn)狀，提出了模糊變系數(shù)PID控制算法，通過(guò)現(xiàn)場(chǎng)試驗(yàn)，實(shí)驗(yàn)曲線數(shù)據(jù)分析表明：給出的模糊變系數(shù)PID控制算法能夠滿(mǎn)足設(shè)計(jì)要求，能夠達(dá)到對(duì)于直拉單晶爐熱場(chǎng)溫度控制的目的，控制精度在允許的控制范圍內(nèi)，誤差比較合理，使作業(yè)控制更

2、加有效和準(zhǔn)確。 全文總共分為七章： 第一章介紹了論文的研究背景以及國(guó)內(nèi)外在直拉單晶爐研究現(xiàn)狀及發(fā)展，并對(duì)熱場(chǎng)及其控制以及CZl50直拉單晶爐進(jìn)行了介紹，并由此引出了論文的研究?jī)?nèi)容和方法。 第二章主要進(jìn)行的工作是研究了晶體的熱動(dòng)力、熱傳輸，在此基礎(chǔ)上對(duì)熱場(chǎng)建模。 第三章詳細(xì)敘述了直拉單晶爐熱場(chǎng)模糊變系數(shù)PID溫度控制，首先對(duì)直拉單晶爐熱場(chǎng)的特性進(jìn)行測(cè)試研究，然后用模糊變系數(shù)PID控制算法進(jìn)行控

3、制，用經(jīng)驗(yàn)知識(shí)對(duì)模糊變系數(shù)PID算法中的參數(shù)進(jìn)行修正，達(dá)到理想的控制效果。 第四章詳細(xì)敘述了以基于PLC的模塊化直拉單晶爐熱場(chǎng)溫度控制系統(tǒng)的硬件實(shí)現(xiàn)，首先提出了直拉單晶爐熱場(chǎng)對(duì)控制系統(tǒng)的硬件要求，然后對(duì)本系統(tǒng)的硬件設(shè)計(jì)進(jìn)行了詳細(xì)說(shuō)明。 第五章詳細(xì)敘述了以基于PLC的模塊化直拉單晶爐熱場(chǎng)溫度控制系統(tǒng)的軟件實(shí)現(xiàn)，首先對(duì)軟件系統(tǒng)的整體框架進(jìn)行了介紹，然后對(duì)軟件系統(tǒng)的各個(gè)程序模塊逐個(gè)分析。 第六章介紹了論文的現(xiàn)場(chǎng)試