退火處理對(duì)FeCoB-SiO-,2-磁性納米膜電磁性能的影響.pdf_第1頁(yè)
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1、含有Fe、Co基的復(fù)合納米膜材料具有高磁導(dǎo)率、高損耗等特點(diǎn)，可實(shí)現(xiàn)微波的寬頻帶吸收，是一類(lèi)具有很大發(fā)展?jié)摿Φ男乱淮ú牧?。退火處理是FeCoB-SiO2磁性納米膜制備工藝中的一個(gè)關(guān)鍵環(huán)節(jié)，隨著人們對(duì)磁性薄膜電磁性能的要求越來(lái)越高，退火處理成為改善納米磁性膜性能的重要手段之一。
　　 本文主要研究了GHz高頻應(yīng)用的磁性納米膜經(jīng)過(guò)不同退火條件處理前后，電磁性能的變化規(guī)律。通過(guò)比較和分析制備樣品經(jīng)過(guò)退火處理后的電磁性能曲線和理想材料

2、的模擬曲線，制定出最佳退火條件。
　　 根據(jù)薄膜樣品制備及熱處理方法，分析了FeCoB-SiO2磁性納米膜的濺射制備及真空退火處理工藝，改善了實(shí)驗(yàn)方案。結(jié)合已有的實(shí)驗(yàn)條件，建立了小尺寸薄膜樣品退火處理平臺(tái)，組裝了GZL-1200型管式真空退火爐，建立了一系列合適的退火步驟，解決了薄膜樣品的固定及送取問(wèn)題，排除了升溫過(guò)程中常見(jiàn)的設(shè)備故障。
　　 通過(guò)反復(fù)的改變退火條件，對(duì)典型樣品作了退火前后、不同退火時(shí)間和退火溫度處理下的

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