1、六氟化硫（SF6）是一種重要的工業(yè)氣體，其主要用途有：變壓器、電子設(shè)備的絕緣保護(hù)氣，還用作制冷劑、示蹤劑，還可用于半導(dǎo)體制造過(guò)程中的蝕刻、化學(xué)氣相沉淀等。六氟化硫在使用過(guò)程中可通過(guò)多種途徑進(jìn)入土壤、水體、大氣而造成環(huán)境污染。SF6對(duì)大氣環(huán)境的影響主要表現(xiàn)在溫室效應(yīng)和對(duì)臭氧層破壞兩個(gè)方面。SF6組分的分析定值過(guò)去通常采用的是氣相色譜熱導(dǎo)分析方法，但此種分析方法受儀器的性能指標(biāo)限制，往往檢測(cè)限難以滿足溫室氣體監(jiān)測(cè)與分析的要求。 本文

2、以氮?dú)夂涂諝庵辛蚧旌蠚怏w作為研究對(duì)象，分別采用帶有熱導(dǎo)檢測(cè)器（TCD）和電子捕獲檢測(cè)器（μECD）的氣相色譜分析方法，對(duì)于不同含量的六氟化硫混合氣體的分析方法進(jìn)行了考察。選用Porapak Q毛細(xì)管色譜柱（15m×0.32mm），分別以高純氮和氬甲烷作為載氣，對(duì)影響SF6組分氣體色譜分離條件的主要影響因素，即：載氣種類、載氣流量、柱流量、尾吹氣流量、檢測(cè)器和分離柱的溫度進(jìn)行了試驗(yàn)研究，最終獲得優(yōu)化的色譜條件參數(shù)；同時(shí)，對(duì)該條件下的