1、中國是世界稀土永磁材料釹鐵硼的制造中心，產量已占全球總產量的75％以上，但目前我國對于釹鐵硼材料形狀誤差的檢測手段大部分以人工檢測為主，對于大批量生產顯然效率低，成本高，精度低，因此，為了適應不斷提高的產品制造精度和大批量生產的要求，迫切需要一種自動化、高效率、高精度的檢測手段。 本文基于反射式強度調制型光纖位移傳感機制提出一種新型的、高精度、高效率的精密零部件形狀誤差的光學測量系統(tǒng)，將光纖傳感技術與光纖通信技術相結合，通過光開

2、關的切換實現光纖傳感陣列的時分復用，提高系統(tǒng)的靈活性，降低成本并提高測量效率和精度。系統(tǒng)由激光光源、光纖傳感陣列、光電轉換鎖定放大電路和計算機處理軟件四部分組成。通過鈮酸鋰電光晶體實現激光光源的調制，光纖傳感陣列按所測形狀誤差要求排列(例如平面度誤差的測量，可按組合量法9點布局)，調制光經環(huán)行器第2端輸入一個9選1的光開關，光丌關的9路輸出定義成8路測量光路和1路參考光路，測量光路的出射光從被測件表面反射返回，參考光路的出射光從標準件表

3、面反射返回。光開關輪流選通9個輸出光路，使其反射光從環(huán)行器的第3端輸出至一個共用的光電轉換和鎖定放大電路，實現了單光源、單探測器和單處理電路的多光纖傳感測量系統(tǒng)，避免了多處理電路的參數不一致問題。光纖傳感器輸出的微弱調制光強信號經精密前置放大后，通過鎖相放大電路消除噪聲和干擾的不利影響，提高信噪比；模擬電壓經A/D轉換采集進計算機，根據參考光光強的波動情況修正測量光路中光源光強波動對測量結果的影響，從而提高系統(tǒng)分辨率和穩(wěn)定性。最后通過誤