1、本文采用熱氧化法(thermal oxidation method)和固相反應(yīng)法(solid state reaction method)制備了納米ZnO/Co3O4、SnO2/Co3O4復(fù)合氧化物和摻Zn離子的SnO2金屬氧化物氣敏材料，采用XRD、TG、DSC、TEM、FESEM等測試手段對合成的復(fù)合/摻雜金屬氧化物進行表征，研究了制備條件對產(chǎn)物的物質(zhì)結(jié)構(gòu)，熱學(xué)特性和顯微形貌的影響。 本文還探討了復(fù)合/摻雜金屬氧化物厚膜氣敏

2、元件對揮發(fā)性有機化合物（VOCs）蒸汽的氣敏性能；分析了摻雜/復(fù)合量對產(chǎn)物的氣敏特性的影響，并與純的ZnO、SnO2氧化物的氣敏性能比較。 研究結(jié)果表明：熱氧化法和固相反應(yīng)法合成的復(fù)合/摻雜金屬氧化物系列的晶粒尺寸集中在60nm以下，隨著摻雜量的不同，對晶粒尺寸和晶格參數(shù)的影響不同。 ZnO/Co3O4厚膜氣敏測試結(jié)果表明：復(fù)合量為7mol％Co3O4的復(fù)合氧化物氣敏元件對VOCs蒸氣的敏感度較好。厚膜對乙醇、甲醇和苯蒸

3、氣的最佳工作溫度為420℃。 SnO2/Co3O4厚膜氣敏測試結(jié)果表明：復(fù)合量為3mol％Co3O4的復(fù)合氧化物氣敏元件對乙醇、甲醇和甲醛蒸氣的敏感度最好。 為了改善SnO2的氣敏性能，對其進行摻雜，研究了Zn摻雜劑的含量對丙酮，甲醇和苯的氣敏性能的影響。實驗結(jié)果發(fā)現(xiàn)：適當(dāng)量的Zn摻雜工藝能降低SnO2對VOCs蒸汽的工作溫度，提高了SnO2的靈敏度和選擇性。 本文主要分四個部分，第一部分結(jié)合半導(dǎo)體氣敏傳感器的氣敏