1、中紅外探測(cè)技術(shù)，現(xiàn)已應(yīng)用于在生活生產(chǎn)的很多領(lǐng)域，從而受到廣泛的關(guān)注。典型的紅外探測(cè)器，分為光子探測(cè)和熱探測(cè)兩類(lèi)。其中光子探測(cè)，具有快響應(yīng)，高靈敏度的特性，但是往往需要復(fù)雜昂貴的低溫設(shè)備，不利于廣泛的應(yīng)用。相比之下，室溫下工作的熱探測(cè)器具有很寬的探測(cè)譜，但是由于被探測(cè)元件較大的熱慣性所限制，其響應(yīng)速度通常比較慢。
　　 氧化鋅的微米或納米線(xiàn)，由于生長(zhǎng)工藝成本低，近些年顯示出了很大的商業(yè)潛力。利用氧化鋅線(xiàn)穩(wěn)定的理化特性，對(duì)中紅外光強(qiáng)

2、吸收，以及自身的小尺寸特性，我們提出了基于氧化鋅亞波長(zhǎng)線(xiàn)的中紅外熱探測(cè)器。在本文中，我們研究了氧化鋅亞波長(zhǎng)線(xiàn)對(duì)紅外光的熱響應(yīng)，并開(kāi)發(fā)成為一款室溫中紅外探測(cè)器。
　　 ZnO線(xiàn)，通過(guò)化學(xué)氣相法生長(zhǎng)，所長(zhǎng)出來(lái)的線(xiàn)具有良好的表面光澤度和典型的六角型橫截面。線(xiàn)被跨放在基片上制作的兩鈦金電極中間。將銦鎵的液態(tài)合金涂覆在接觸區(qū)以形成良好的歐姆接觸。使用波長(zhǎng)10.6μm的CO2激光器作為探測(cè)源，通過(guò)硒化鋅透鏡聚焦到ZnO線(xiàn)中央，形成直徑220

3、μm的光斑。另外，我們使用6800lx的冷光源燈照射被測(cè)樣品，以使樣品的暗電阻穩(wěn)定，并方便測(cè)量。
　　 當(dāng)ZnO線(xiàn)吸收中紅外光，溫度會(huì)上升，從而引起電阻的變化。通過(guò)電阻變化幅度，可以推算出入射光強(qiáng)度。測(cè)量了不同入射光強(qiáng)度下ZnO線(xiàn)的Ⅰ—Ⅴ特性證明，隨著入射光增強(qiáng)，氧化鋅的電阻也隨之線(xiàn)性增加。我們得到探測(cè)器的噪聲強(qiáng)度為700μV/HZ1/2(1kHz)，可以推算出噪聲等效功率為5.8μW/Hz1/2。
　　 為測(cè)試ZnO線(xiàn)