1、漸變折射率光波導(dǎo)是光通信和集成光電子學(xué)領(lǐng)域的關(guān)鍵元件之一已獲得愈來愈廣泛的應(yīng)用。目前，已有多種成熟的工藝技術(shù)，特別是離子交換技術(shù)，可以制備低損耗的漸變型折射率波導(dǎo)。波導(dǎo)的模式特征以及光波的傳輸特性均由其折射率的分布情況所決定，確定漸變型光波導(dǎo)的折射率分布也對(duì)其制備有著重要的指導(dǎo)意義。因此，精確確定漸變型光波導(dǎo)的折射率分布已成為一個(gè)十分重要的課題。現(xiàn)今已有多種方法用于解決這一問題，例如：橢偏儀法、逆WKB法(IWKB)以及干涉法等等。由于

2、IWKB方法有明確的物理意義，簡(jiǎn)單的計(jì)算過程，已廣泛的應(yīng)用于擬合離子交換等漸變折射率波導(dǎo)折射率分布當(dāng)中。但是WKB方法是一種近似的方法，他的計(jì)算精度與所計(jì)算波導(dǎo)的折射率分布類型密切相關(guān)，對(duì)緩慢變化的折射率分布精確度較高，而對(duì)變化較快的折射率分布，其結(jié)果誤差較大。這一缺陷同樣存在IWKB方法中。本文運(yùn)用逆分析轉(zhuǎn)移矩陣(IATM)方法來確定漸變型波導(dǎo)的折射率分布，由于此方法基于的是精確的分析轉(zhuǎn)移矩陣方法(ATM)，因此，本方法能克服IWKB

3、方法中固有的缺陷。文中利用該方法計(jì)算了幾種典型的折射率分布，結(jié)果表明IATM方法大大優(yōu)于IWKB方法。 在確定折射率分布過程中，表面折射率的確定是十分關(guān)鍵的，它直接影響著整個(gè)折射率的分布輪廓，而在實(shí)際計(jì)算過程中，一般都是通過一些數(shù)學(xué)方法來確定。這些方法缺乏足夠的物理依據(jù)。本文提出了利用等離子表面波來確定漸變型波導(dǎo)的表面折射率，本方法對(duì)于確定表面折射率，比用數(shù)學(xué)外推法得到的結(jié)果更合理，更精確。通過表面折射率的測(cè)定，也為精確確定波導(dǎo)