1、在相控陣雷達系統(tǒng)、電子戰(zhàn)、衛(wèi)星通訊和其他機載應用中，微波介質元器件尺寸和重量已成為電子系統(tǒng)設計考慮的主要因素。為了實現(xiàn)微波器件及電路的小型化、集成化，人們開始考慮薄膜化介電頻率器件。由于多層介電薄膜結構具有更低的插損、更高的品質因子以及更好的梢合特性，在微波頻率下體現(xiàn)出高穩(wěn)定性(接近于零的頻率溫度系數(shù)τf)與低損耗(高品質因子Q)的特點，可以滿足單片微波集成電路(MMIC)小型化的需要，對實現(xiàn)微波器件的集成化和高品質化具有重要的實際意義

2、和實用價值。 本論文采用Pechini方法制備了Ca(Mg1/3Nb2/3)O3/CaTiO3(簡稱CMN/CT)均質與異質結構薄膜材料。選取具有高品質因子Q、中介電常數(shù)εr和近零頻率溫度系數(shù)τf的2/3CMN-1/3CT復合鈣鈦礦結構的微波介質材料作為研究體系，通過調節(jié)pH值和金屬與檸檬酸(CA)的配比，采用Pechini方法分別制備了CMN和CT前驅體溶液。結果表明，CMN與CT均具有單一的鈣鈦礦結構，且前驅體溶液均勻穩(wěn)定，

3、可長時間放置，適合于薄膜制備。 采用液相旋涂法制備了多元素體系的CMN/CT異質結構薄膜材料，研究了不同熱處理工藝下，膜層排列方式和薄膜層數(shù)對CMN/CT異質薄膜材料的結構與介電性能的影響。結果表明，具有周期性結構排列的異質薄膜受排列方式和薄膜層數(shù)的影響很小，且有較寬的制備工藝范圍；具有非周期性結構排列的異質薄膜受排列方式和制備工藝條件的影響較大，且基板接觸的膜層(CMN或CT)對異質結構薄膜的制備工藝條件、結構及性能都會產生一

4、定影響。對于非周期性排列的異質結構薄膜，當CMN/CT異質薄膜層數(shù)為9層時，熱處理時間分別為3min和5min時，CT-CMN(TM)和CMN-CT(MT)的成分比滿足設計要求(CMN：CT=2:1)，具有單一的鈣鈦礦結構，表面平整，晶粒生長均勻，1MHz頻率下介電性能分別為εr=47.57、tanδ=0.020和εr=51.79、tanδ=0.022。對于周期性排列的異質結構薄膜，由于界面空間電荷充當?shù)妥杞橘|層的影響，介電常數(shù)有所增高

5、，而損耗幾乎不受影響。在1MHz頻率下，熱處理時間為3min和5min的TMM、MTM、MMTE均介電性能分別為εr=66.30，tanδ=0.0214；εr=69.70，tanδ=0.0229；εr=63.57，tanδ=0.0212和εr=78.08，tanδ=0.0265；εr=79.42，tanδ=0.0277;εr=76.63，tanδ=0.0260。不同層數(shù)周期性排列CMN/CT異質薄膜結構與性能研究表明，隨著薄膜層數(shù)增加，