1、作為一種新型的激光加工技術(shù)，飛秒激光微細(xì)加工具有亞微米的加工分辨率、低熱損傷等技術(shù)特點。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，對飛秒激光微加工技術(shù)提出了更高的要求。其中的一項任務(wù)是進(jìn)一步提高飛秒激光的加工精度，突破100nm加工分辨率瓶頸?？刹扇〉姆椒òǎ簩⒓す馊肷涞浇饘偬结樀谋砻?，利用探針尖端的近場場增強(qiáng)對材料進(jìn)行加工；采用納米小孔形成納米級的光源；利用準(zhǔn)周期金屬微結(jié)構(gòu)控制出射光束的質(zhì)量等等。本文采取了飛秒激光與原子力顯微鏡結(jié)合的實驗方案，對飛秒激光

2、的超高分辨率加工進(jìn)行了實驗和機(jī)理研究。并探討了用倍頻飛秒激光和H形納米孔進(jìn)行微加工的可行性。 本文首先介紹幾種常用的電磁場分析的方法，如：多重多極子展開法(MMP)，格林函數(shù)方法，有限元法(FEM)，對這幾種方法進(jìn)行了比較，然后詳細(xì)地說明時域有限差分法的原理和在計算中需要注意的幾個問題。其次，基于Veeco AuroraⅢ原子力顯微鏡實驗平臺，搭建了反射式的飛秒激光近場加工系統(tǒng)，利用金探針實現(xiàn)了對PMMA材料的納米加工，形成了納