1、電火花加工是超精密加工中的一種重要方法,其本質是電腐蝕。經過半個多世紀的發(fā)展,電火花加工技術已經成為現(xiàn)代制造技術領域中不可或缺的重要組成部分,在微電子工業(yè)、航空航天、醫(yī)療器械以及模具制造等許多領域內取得廣泛的應用。隨著微機電系統(tǒng)(MEMS)和現(xiàn)代電子電力技術的迅速發(fā)展,尤其是微細電極的在線制作技術成熟以后,使得電火花微細加工技術進入了實用化的階段,越來越受到人們的重視。Ta-W合金是一種高強度、高熔點、高沖擊阻抗的重金屬材料,有很高的延

2、展性,較好的機械加工性能和很強的高溫抗腐蝕能力,在高科技領域有著重要的應用。首先,本文通過一系列工藝性試驗,對Ta-W合金的電火花加工特性進行了初步的分析,主要研究了電參數(shù)和電極材料對加工速度和電極損耗的影響。并用兩種不同直徑的電極對1Cr18Ni9Ti進行加工,分析了電極直徑對加工的影響。其次,通過對Ta-W合金和1Cr18Ni9Ti的對比加工試驗,深入地研究了Ta-W合金的電火花加工性能,并從材料性質入手,分析了Ta-W合金的電火花