1、相移干涉術(PSI)作為一種光電型干涉測試技術，具有結(jié)構(gòu)簡單、調(diào)制方便、實時快速、高精度以及全場自動測量等優(yōu)點，并且己經(jīng)廣泛應用于光學零件、光學系統(tǒng)、精密表面的檢測以及其它與光程差參數(shù)相關的物理量的測量(如溫度場、密度場等)。 本論文對三維微觀表面輪廓相移干涉測試技術展開了較為全面的理論與實驗研究工作。針對相移干涉術的核心問題——相位提取技術進行深入研究，分析了相移誤差及CCD量化非線性誤差對各種相位提取算法造成的誤差，選取了適

2、合本課題的相位提取算法，提高了系統(tǒng)測量精度。針對相移干涉法中對相移裝置要求比較苛刻，必須獲得精確的相移步長這一特點，本課題采用壓電陶瓷作為相移器件，選定了其線性特性較好的區(qū)域，并根據(jù)這一區(qū)域設計出了相應的驅(qū)動電源，完成了精密移相系統(tǒng)的設計，減小了相移誤差。在本論文中，還系統(tǒng)詳細地分析了干涉圖像的各種處理方法，并提出了改進算法，運用Matlab軟件做了大量實驗，實驗結(jié)果表明上述算法能有效地改善干涉圖像的質(zhì)量，從而提高干涉測量的精度。